Photolithography (also termed "optical lithography" or "UV lithography") is a process used in microfabrication to selectively remove parts of a thin film or the bulk of a substrate. It uses light to transfer a geometric pattern from a photomask to a light-sensitive chemical "photoresist", or simply "resist," on the substrate. A series of chemical treatments then either engraves the exposure pattern into, or enables deposition of a new material in the desired pattern upon, the material underneath the photo resist. For example, in complex integrated circuits, a modern CMOS wafer will go through the photolithographic cycle up to 50 times.

Fotolithografie bezeichnet

La photolithographie, dans le cas des semi-conducteurs, désigne l'ensemble des opérations permettant de délimiter l'extension latérale des matériaux sur la surface d'un substrat semiconducteur, dont la structure est plus ou moins bidimensionnelle car basée sur l'empilement de couches à la surface d'une plaquette de silicium. Les motifs deviendront par la suite les différentes zones actives des composants électroniques (exemple : contact, drain...) ou les jonctions entre ces composants.

フォトリソグラフィ（英:Photolithography）とは、感光性の物質を塗布した物質の表面を、パターン状に露光（パターン露光、像様露光などとも言う）することで、露光された部分と露光されていない部分からなるパターンを生成する技術。主に、半導体素子、プリント基板、印刷版、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネルなどの製造に用いられる。

Фотолитогра́фия — метод получения рисунка на тонкой плёнке материала, широко используется в микроэлектронике и в полиграфии.