Oorspronkelijk was de benaming millimillimeter (mmm). De mmm werd in 1845 ingevoerd door de Nederlandse bioloog en geoloog Pieter Harting die een lengtemaat nodig had voor metingen aan zijn microscopische studie-objecten. De mmm werd later omgedoopt tot micron (symbool µ, wat vaak werd uitgesproken als mu). Om een consequent stelsel van eenheden te maken werd dit veranderd in micrometer (µm).