L'architettura XScale si basa sul set di istruzioni ARM v5TE con l'aggiunta di istruzioni in virgola mobile. XScale utilizza un'architettura RISC a pipeline con 7 stadi per gli interi e 8 per la memoria. I processori sono i successori degli StrongARM che Intel acquisì dalla DEC quando, per porre fine a una causa legale che DEC aveva intentato verso la società, Intel acquistò l'intera divisione dedicata allo sviluppo dei semiconduttori. Intel utilizzò lo StrongARM per rimpiazzare le sue precedenti linee di processori RISC i860 e i960.