Nanoelektronik

Der Begriff der Nanoelektronik unterliegt keiner strengen Definition, da der Übergang zwischen Mikroelektronik und Nanoelektronik fließend verläuft. Derzeit werden in der Mikroelektronik Strukturbreiten [kleinste, über Strukturierungsverfahren (Lithographie) realisierbare Abmessung bei integrierten Schaltkreisen] von 0,045 µm (Mikrometer) bzw. 45 nm (Nanometer) erreicht. Als Nanoelektronik werden integrierte Schaltkreise bezeichnet, deren Strukturbreiten (deutlich) unter 100 nm liegen. Für das nächste Jahrzehnt wird hierbei mit einer weiteren Miniaturisierung bis auf 23 nm gerechnet. Die optische Lithographie stößt dann jedoch aus physikalischen Gründen an ihre Grenze, so dass in der nahen Zukunft ein radikaler Technologiewechsel unumgänglich werden wird.
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