Micro electro mechanical system

Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) ist die Kombination aus mechanischen Elementen, Sensoren, Aktoren und elektronischen Schaltungen auf einem Substrat bzw. Chip. (siehe auch System on Chip, SoC)MEMS basierten früher auf der Halbleiterelektronik, damals war Grundmaterial (Substrat) in der Regel Silizium, aber auch Galliumarsenid. Die Mikroelektronik beschränkt sich auf elektrische Komponenten wie Transistoren (CPU) und Kondensatoren (RAM). Heute können MEMS auch preiswert aus Kunststoffen hergestellt werden und die Ergebnisse im Bereich Materialforschung werden für multifunktionale Systeme genutzt. In der Mikrosystemtechnik sind die Möglichkeiten der Halbleiter-Werkstoffe erweitert um mechanische, optische, chemische und/oder biologische Komponenten und Funktionen.
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Mirrors, no larger in diameter than a human hair, which can be arranged on special pivots so that they can be moved in 3 dimensions. Several hundred such mirrors can be placed together on mirror arrays no more than a few centimeters square in size, to form an optical crossconnect.