Elektronenspektroskopie

Die Elektronenspektroskopie ist eine spektroskopische Methode zur Materialanalyse. Grundlage ist die Anregung von Elektronen in den äußeren Schalen (siehe z.B. Photoelektrischer Effekt). Der Begriff Elektronenspektroskopie dient auch oft als Sammelbezeichnung für Untersuchungsverfahren, bei denen durch eingestrahlte Elektronen (Primärelektronen), kurzwellige UV-Strahlung oder Röntgenstrahlung Elektronen aus inneren Schalen entfernt werden. Die kinetische Energie dieser Elektronen wird anschließend direkt gemessen oder aus Folgeprozessen mit Sekundärelektronenemission oder Strahlung ermittelt. Dazu wird mit Hilfe eines Elektronenspektrometer die Stärke eines Elektronenstromes abhängig von der kinetischen Energie der Elektronen ermittelt.
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